罗茨水喷射真机组是由罗茨泵(又称机械增压泵)为主泵(包括中间泵，该泵有防腐和不防腐两种，防腐型在是经过喷涂处理后,达到了很好的防腐效果)，水喷射泵为前级泵组成。用全塑卧式水喷射真空机组作为前级泵，可抽腐蚀性气体，一级罗茨泵极限真空可达150Pa，二级罗茨泵极限真空可达25Pa。
罗茨水喷射真机组性能特点：安全可靠，采用进口油封轴伸密封、复合式密封结构设计，杜绝漏油和乳化。具有其空度离、抽速范圈广等特点，较适用于抽除干燥洁净的气体。当带有气镇装置时，也可以抽除含有少量水蒸气的气体，性能稳定，装配电控制系统，适用于真空蒸馏、脱水结晶、浓缩、干燥剂及电力电容器等制造业中，也广泛应用于化工、轻工、半导体、石油医药、冶金、印染、电器、电真空、食品、纺织、原子能等行业。
罗茨水喷射真机组的操作顺序：
1、机组中无旁通阀时，应先开动水环泵，被抽系统中的气体由罗茨泵(气体推动罗茨泵转子自行转动，如同流量计一般)进入水环泵后再排至大气，待水环泵的吸入压力(如串联有大气泵，则为大气泵的吸入压力)达到罗茨泵的起初规定值时(即允许排气压力)，始启动罗茨泵，机组正式运转，开始工作。
2、机组中有旁通阀时，先启动水环泵，接着开动罗茨泵，此时罗茨泵进排气压差较大，旁通阀自动开启，被抽容器中的气体一部分经过旁通阀进入水环泵，另一部分在罗茨泵的作用下通过该泵也进入水环泵，显然抽气速率增加，这样很快达到罗茨泵的预真空，进排气压差较小，阀门自动关闭(或人工关闭)，机组正式工作。这种方法能大大缩短预抽时间，但设备较复杂。
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